技术领先・业绩显著的空气弹簧式除振系统
IAK系列产品的空气弹簧系统被应用于广泛的领域中,例如:显微镜、激光等应用技术领域;半导体制造、检测装置领域等等。由于具有出色的除振性能,而被广大客户所认可并使用。在几赫兹到几百赫兹大范围频域中,产品的优越性能得到了客户广泛地认证和好评。而且,即使停止供给空气,空气弹簧下部的特殊材质—防振橡胶也同样可以保护负载仪器的精密构造。
IAK系列产品是具有通用性的组合型装置
日本IA所追求的是,在更小的空间中,设置的除振系统能与您的设备完美组装在一起。IAK系列正是将空气弹簧与高灵敏度水平传感器集成为一个小型组件的系列。从而可以不用大幅度改变设备本身的规格就能进行安装,进而获得很高的除振性能。
总体高度统一为185mm(浮起时)
这种除振系统的总体高度全部统一为185mm。万一由于设计的变更,而导致负载仪器的重量有变化时,我们也能在装置总体高度不变的前提下满足您的要求。
可负载重量范围广
需要除振的精密仪器的种类和使用目的每年都在不断变化,呈现出多样化趋势。我们应时而动,根据精密仪器的重量,我们为您提供从IAK-80到IAK-380共11个种类的产品,可以相应满足数百公斤乃至10吨级以上的大型精密仪器的负载。
能即时应对负载物的移动
当负载物的移动、基板的交换、自动加工机、测量机等产生负载重量的变化时,使用弹性体的空气弹簧,能回复到原位置就显得非常重要。IAK系列的产品为了控制空气弹簧,以我们独创的高灵敏度水平传感器作为标准配置,实现了在垂直方向上的重复位置精度能达到正负200微米。
近年,伴随着负载物的高速化,出现了搭载台摇晃问题的案例。使用2段式传感器既可以减少摇晃的时间,同时也能使重复位置精度达到正负100微米,从而使被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。(如果由于移动负载而产生的摇晃时间成为问题,请事先联系我们)
也适用于净化室中使用
在高级别的净化室内使用时,可以改用为能集中排气的、净化室专用的水平维持传感器。(因为是特殊定制的产品,详细情况请另行咨询。此外,这里的传感器不能变更为2段式传感器)